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真空泵機組的真空系統是它的主要工作部件，避免真空系統不受污染，是很有必要的。
1、真空泵機組要選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵。
2、裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用。
3、運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。
4、運用吸水性強的單調劑。
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