超高真空系統(tǒng)用泵的選擇是重要的。表明超高真空泵應靠提供高的抽速(低的Q/S)并且減小由泵到真空室的返流(小的Po)來降低壓
強。這里，返流被定義為由泵到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣流。對超高真空系統(tǒng)來說，減少來自泵的污染的目的是同其它任何真空
系統(tǒng)一樣的，只是超高真空系統(tǒng)中極限壓強和所容許的污染程度更低罷了。為了降低污染程度，必須嚴格遵守正確的抽氣步驟。變
暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去。雖然重新降溫會阻止進一步污染，但事故中已
擴散到清潔區(qū)域內的蒸氣是無法再除掉了。在高真空范圍內是無關緊要的事故會破壞低壓強下所作的實驗的真實性。
每種類型的泵本身都具有它所特有的不能抽走而作為雜質存在的氣體和蒸氣物質。所以，一些泵和阱的聯(lián)合使用能在盡量減小返流
的同時對所有的氣體都提供足移的抽速。擴散泵常與鈦升華阱聯(lián)用，低溫冷凝泵和升華泵常與離子泵聯(lián)用，而渦輪分子泵常輔以升
華器。一般來說，沒有兩類超高真空系統(tǒng)會采用相同的泵的組合方案。雖然可以買到商用抽氣系統(tǒng)，但對超高真空應用來說，通常
是按其特殊要求來進行泵的設計和選擇的。至今，在選擇超高真空泵時仍保留了靠“優(yōu)選”解決的簡單技藝。
