極限真空是羅茨真空泵的重要參數之一，其含義是在嚴密封閉泵的入口時，經較長時間運轉所能達到的最高真空度。因常用壓力表示，故又稱極限壓力。從特性曲線中可以看出，當羅茨真空泵達到極限真空時，通過泵入口的正向氣流量為零，即泵的實際抽速為零。如果與前級真空串聯工作，由于氣流連續(xù)性，此時前級泵也同時達到極限真空。 

羅茨真空泵在作為機械增壓泵使用時，其極限真空與前級真空泵有關，選擇不同的前級泵可以獲得不同的極限真空。用水環(huán)真空泵作前級泵時，單級羅茨真空泵的極限真空為1Torr左右，雙級羅茨真空泵可達2*10-2Torr,用滑閥真空泵作前級泵時，單級羅茨真空泵的極限真空為5*10-4Torr,雙級羅茨真空泵可達到1*10-5Torr。 

直排大氣的濕式羅茨真空泵的極限真空不高，一般約為60~40Torr，其真空度高低與泵制造的質量有關。不過這種羅茨真空泵常常是用在抽粗真空的場合，所要求的真空度比極限真空低得多，因此這種泵的極限真空對使用來說意義不大。

在試驗羅茨真空泵的極限真空時，按照部頒標準規(guī)定一般要求開動10~20min以達到極限真空，同時還要注意泵的濕度應保持正常。新出廠的羅茨真空泵達到極限壓強的時間可能更長一些，因為零件上可能有易揮發(fā)的清洗液，或因泵的潤滑油吸收了水份和氣體，需要一定的時間才能充分揮發(fā)。最好能試驗二、三次，以便加以比較。