所謂真空就是壓強低于101.3kPa(1個大氣壓)的氣態(tài)空間。真空度的高低用氣態(tài)空間的壓強大小來表示，即真空度越高，壓強就越低。

在工作應用中，常把電爐的真空度劃分為三種等級，即低真空，壓強為1.33 x 103-13.3Pa;中真空，壓強為13.3-1.33x10-2Pa;高真空，壓強為1.33x10-2-1.33x10-4Pa,目前，大多數(shù)真空熱處理爐所用的真空度為133-1.33x10-3Pa.

所謂真空熱處理是指熱處理工藝過程的全部或部分在真空狀態(tài)下進行。實際上，是把真空當作一種純度較高的保護氣體，能有效地防止工件在高溫下發(fā)生氧化脫碳反應，提高工件熱處理的表面質量或改進化學熱處理的效果。

現(xiàn)在，真空熱處理已用于淬火、退火、回火、滲碳、滲氮、滲金屬及其他表面硬化、表面合金化等工藝中。在淬火方面已實現(xiàn)了氣淬、油淬、硝鹽淬、水淬等處理。

獲得真空的主要設備是真空泵。真空熱處理爐常用的真空泵有:旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵、機械增壓泵、油增壓泵和油擴散泵。前三種泵為機械類真空泵，后兩者為油蒸氣類真空泵。