夏季中水環(huán)式真空泵真空度降低的原因
油擴(kuò)散泵的發(fā)展趨向特點(diǎn)
(1)采用飽和蒸氣壓低，性能好的新工作液，以提高泵的極限真空。如聚苯醚、聚乙烯醚等。現(xiàn)在普遍使用的是硅油。
(2)改進(jìn)結(jié)構(gòu)，提高抽速。
(3)降低泵的反油率。例如在擋板敷聚四氟乙烯可使返油率大為減少。
(4)縮短泵的啟動時間。
(5)擴(kuò)大抽氣工作壓強(qiáng)范圍，國外在0.4~10-8Pa之間，抽速不變。
(6)提高最大反壓強(qiáng)，國外較好的泵排壓在79.99-106.66Pa之間。
